首款Oerlikon的8英寸MEMS集群工具来到韩国
摘要：世界上主要的半导体制造商都大量安装了CLUSTERLINE? 200 II。该工具拥有一流的加工能力和灵活性，可以提升系统的额外定制功能。同时，开放式系统架构也允许对PVD、Soft Etch和PECVD轻松地实施工具配置。新一代的CLUSTERLINE?与市场中以前安装的CLUSTERLINE工具完全兼容，同时能够通过那些可切实提升整体性能的创新功能来实现可扩展能力。
美国商业资讯2008年7月31日列支敦士登巴札尔消息－
六月份，韩国的RFID/USN基础设施服务机构u-IT Cluster Center (www.uitc.or.kr) － 提供MEMS传感器(USN Fab)和RFID/USN铸造相关的服务，服务范围从RFID/USN产品的设计到测试(RFID/USN Engineering Lab) － 签订了一份从Oerlikon购买CLUSTERLINE? 200 II制造工具的合同，以助于6英寸和8英寸MEMS的研发和批量生产。
借助这个决策，u-ITC正成为东北亚地区下一代晶圆加工开发的领导者之一。CLUSTERLINE?将安装在韩国松岛u-IT Cluster Center的USN Fab。
u-IT Cluster Center总裁Sang-Chul Shin先生说，“我们已经评估了可用的晶圆生产设备，并对Oerlikon留下了深刻的印象”。CLUSTERLINE?得到全球主要MEMS和半导体制造商的一致认可，它具有出色的生产加工能力。不论是对于MEMS，还是UBM、BSM、TFH、IC及其它应用，许多年来，Oerlikon已经展示出了雄厚的技术能力和CoO领导力。
Oerlikon系统部门主管Andreas Dill说，“这种针对高度精密和专业应用的大批量生产平台，为制造商创造了许多新的机遇。我们很自豪地被选定为合作伙伴。我们已经连续九年获得VLSI 10最佳奖的殊荣，这证明了我们为客户成功所作的贡献。同时，这也是对我们努力为半导体行业提供卓越制造和生产解决方案的另一种重大奖励”。
世界上主要的半导体制造商都大量安装了CLUSTERLINE? 200 II。该工具拥有一流的加工能力和灵活性，可以提升系统的额外定制功能。同时，开放式系统架构也允许对PVD、Soft Etch和PECVD轻松地实施工具配置。新一代的CLUSTERLINE?与市场中以前安装的CLUSTERLINE工具完全兼容，同时能够通过那些可切实提升整体性能的创新功能来实现可扩展能力。
Oerlikon – 实现高科技
Oerlikon（瑞士证券交易所：OERL）是世界上最成功的高科技工业集团之一，精通于机械和工厂工程。本公司是纺织品制造、薄膜太阳能电池、薄膜涂层、驱动器以及精度和真空系统领域的工业解决方案和创新技术领导者。Oerlikon源于瑞士，悠久的历史可以追溯到100年以前，全球职工超过19000名，遍布35个国家的170个地方。公司销售额高达56亿瑞士法郎，在全球市场中排名前两位。2007年，投入的研发资金高达营业额的5%（2.74亿瑞士法郎）
六月份，韩国的RFID/USN基础设施服务机构u-IT Cluster Center (www.uitc.or.kr) － 提供MEMS传感器(USN Fab)和RFID/USN铸造相关的服务，服务范围从RFID/USN产品的设计到测试(RFID/USN Engineering Lab) － 签订了一份从Oerlikon购买CLUSTERLINE? 200 II制造工具的合同，以助于6英寸和8英寸MEMS的研发和批量生产。
借助这个决策，u-ITC正成为东北亚地区下一代晶圆加工开发的领导者之一。CLUSTERLINE?将安装在韩国松岛u-IT Cluster Center的USN Fab。
u-IT Cluster Center总裁Sang-Chul Shin先生说，“我们已经评估了可用的晶圆生产设备，并对Oerlikon留下了深刻的印象”。CLUSTERLINE?得到全球主要MEMS和半导体制造商的一致认可，它具有出色的生产加工能力。不论是对于MEMS，还是UBM、BSM、TFH、IC及其它应用，许多年来，Oerlikon已经展示出了雄厚的技术能力和CoO领导力。
Oerlikon系统部门主管Andreas Dill说，“这种针对高度精密和专业应用的大批量生产平台，为制造商创造了许多新的机遇。我们很自豪地被选定为合作伙伴。我们已经连续九年获得VLSI 10最佳奖的殊荣，这证明了我们为客户成功所作的贡献。同时，这也是对我们努力为半导体行业提供卓越制造和生产解决方案的另一种重大奖励”。
世界上主要的半导体制造商都大量安装了CLUSTERLINE? 200 II。该工具拥有一流的加工能力和灵活性，可以提升系统的额外定制功能。同时，开放式系统架构也允许对PVD、Soft Etch和PECVD轻松地实施工具配置。新一代的CLUSTERLINE?与市场中以前安装的CLUSTERLINE工具完全兼容，同时能够通过那些可切实提升整体性能的创新功能来实现可扩展能力。
Oerlikon – 实现高科技
Oerlikon（瑞士证券交易所：OERL）是世界上最成功的高科技工业集团之一，精通于机械和工厂工程。本公司是纺织品制造、薄膜太阳能电池、薄膜涂层、驱动器以及精度和真空系统领域的工业解决方案和创新技术领导者。Oerlikon源于瑞士，悠久的历史可以追溯到100年以前，全球职工超过19000名，遍布35个国家的170个地方。公司销售额高达56亿瑞士法郎，在全球市场中排名前两位。2007年，投入的研发资金高达营业额的5%（2.74亿瑞士法郎）
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